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    電子探針微區分析儀百科

    Electron Microprobe,全名為電子探針X射線顯微分析儀,又名微區X射線譜分析儀。可對試樣進行微小區域成分分析。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后 的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發試樣中某一微小區域,使其發出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區的元素作定性或定量分析。將掃描電子顯微鏡和電子探針結合,在顯微鏡下把觀察到的顯微組織和元素成分聯系起來,解決材料顯微不均勻性的問題,成為研究亞微觀結構的有力工具。

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